Alumina keramika materiallari juda qattiq materiallar bo'lib, umumiy kesish asboblari materiallarga osonlikcha zarar etkazadi, shuningdek, ishlov berish uskunasiga katta zarar etkazadi. Ilm-fan va texnologiyaning rivojlanishi bilan, elektron sanoatining (GG) 39-sonli mikroflorali jarayon talablari va keramik substratlar uchun aniqlik talablari, ayniqsa, alumina keramika asosidagi materiallarni, mikro teshiklarni qayta ishlash ehtiyojlari uchun, er silkinishiga olib keldi. -teshiklarni qayta ishlash ultra yuqori ishlov berish aniqligini talab qiladi. Shu bilan birga, ishlov berish samaradorligini ta'minlash kerak. Maxsus ishlov berish texnologiyasi sifatida alumina keramika asosidagi materiallarni qayta ishlashda, ayniqsa, yuqori quvvatli tolali lazerlarning mikro teshikli ishlov berish texnologiyasida lazer bilan ishlov berish keng qo'llanilgan. Ushbu texnologiyaning qo'llanilishi keramika asosidagi materiallarni yozish va yozishni ancha yaxshilandi. Talabni to'ldirish.
Tolali lazerning QCW rejimida (impuls rejimi) va CW rejimida (uzluksiz rejimda) 96 alumina keramika substratiga lazer parametrlarining ta'siri asosan ikki jihatga ega.
Birinchidan, CW rejimida, yutish erituvchisini qo'llash kerak va azot yordamida u uzilish nuqtalarini yozish va simlarning uzilishi muammosini hal qilishi mumkin. QCW rejimida u hech qanday oldindan ishlov berilmasdan uzilish nuqtalari va simlarning uzilishi muammosini hal qila oladi. Tajriba CW rejimida 200 mm/s tezlikka, QCW rejimida esa 150 mm/s tezlikka erishishi mumkin. Bundan tashqari, o'rtacha chiqish quvvati doimiy bo'lganda, ish tsikli oshgani sayin yozish sifati pasayadi; lazer yozish chuqurligi taxminan lazer quvvatiga mutanosib.
Ikkinchidan, QCW rejimini ishlatadigan lazerli burg'ulash jarayonining tajribasi shuni ko'rsatadiki, 0,6 mm qalinlikdagi keramik asosli materialda mikro teshikning minimal burchagi 1,14 °, burg'ulash parametrlari: takrorlanish chastotasi 200 Gts, ish aylanishi 20 %, defokus 0, havo bosimi 0,3MP, ko'rish tezligi 240 mm/min va quvvat nisbati 15%; konusning ta'sir darajasi defokus, havo bosimi, takrorlanish chastotasi, ish tsikli va lazer quvvat nisbati, skanerlash tezligi bo'yicha. Ta'sirning eng yuqori darajasi - bu defokus miqdori, eng pasti - ko'rish tezligi.
